产品介绍：等离子体水洗设备
型号介绍：SMD-PW MK2
规格参数：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1850(H) (单腔)
Capacity: 1000 SLM(ETCH）3000 SLM(T/F）
功能说明：处理有害气体
适合工艺：* Dry etch
* Diffusion (非As)
* Implant
* Thin Film CVD/PVD
吸收效率：≥99.5%
尺寸重量：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1850(H) (单腔)
产品优势：* 适用于韩国技术中国生产实现高品质低单价
* 用较小作业空间就可进行维修维护
* Quick Clamp 分离后可打开Chamber
* 短时间教育就可使不熟练人员进行作业
* 完全开放可对全体进行检查
*作业需要的时间少，可管理多数设备
* 安装面积小可有效利用空间，强于POWDER堵塞
应用案例：
产品介绍：加热水洗设备
型号介绍：SMD-TW MK2
规格参数：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1900(H)
Capacity: 1500 SLM
功能说明：处理有害气体
适合工艺：* Thin Film
* Implant(非As)
* Diffusion
吸收效率：≥99.5%
尺寸重量：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1900(H)
应用案例：
产品介绍：燃烧水洗设备
型号介绍：SMD-BW MK2（单腔）
规格参数：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1900(H) (单腔）
Capacity: 1500 SLM
功能说明：处理有害气体
适合工艺： * ETCH
* Thin Film
* Implant(非As)
* Diffusion
吸收效率：≥99.5%
尺寸重量：Size: 1000(L) x 1100(W) x 1900(H) (单腔）
应用案例：
产品介绍：干式吸附设备
型号介绍：SMD-Dry MK2
规格参数：Size: 800(L) x900(W) x 1750(H) (单腔）
Capacity: 150 SLM(单腔）
功能说明：处理有害气体
适合工艺：* Dry etch
* Implant(非As)
吸收效率：≥99.5%
尺寸重量：Size: 800(L) x900(W) x 1750(H) (单腔）
应用案例：
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