重磅消息解读：中国等离子体蚀刻清洗设备比国外应用优势强

相对于中国在等离子蚀刻机上，珠海恒格电子科技有限公司的等离子蚀刻清洗设备，不仅可以满足中国企业的需求，还能够进入国际市场上与应用材料等国际巨头一争长短.而这背后，是一群科技人才耗费十多年时间持之以恒的付出和努力换来的成绩。

十年磨一剑技术应用比国外优势

腔体采用航空铝合金，无缝焊接，真空泄漏率小于20mt/min，可以更好保证均匀性。

电极采用一体成形工艺（无缝焊接），电极升温效率高20%，咬蚀均匀。

真空泵组全方位多重保护系统（过流，过载，超温保护）。

电极和RF电源/真空泵组采用独立冷却系统，确保设备稳定性和延长设备使用寿命。

标配四路、最多五路气体配置。

氦气氧气软件防保设备，气体流量&压力报警装置系统。


德国工业电路安装设计标准

冷却水和气体流量实时监控系统（HENGER专利）

PLC-人机操作软件，简单使用，数据动作实时记录，永久存储，分级用户权限管理。

Barcode扫描系统（选配功能）

恒格等离子VS国外品牌等离子

恒格等离子其它优势

腔体内可拆卸面板：保护腔体，便于清洗，提高效率，提高咬蚀均匀性。

我们的愿景

做中国最好的“等离子体工业应用”民族品牌

立足中国   面向世界。